隨著人們生活質量的提高,對電子產品的質量要求也越來越嚴格。 電子廠無塵車間要滿足的一個重要條件是保持恒溫恒濕。 恒定的濕度可以減少潔凈室和潔凈室表面靜電電荷的積累。 當相對濕度超過50%時,靜電荷開始迅速消散,但當相對濕度低于30%時,它們可以在絕緣體或未接地表面上長期存在。
對于發電廠潔凈室,35% 至 40% 之間的相對濕度可以是令人滿意的折中方案。 其中,半導體無塵車間和潔凈室一般采用額外的控制裝置來限制靜電荷的積累。 大多數化學反應(包括腐蝕過程)的速度隨著相對濕度的增加而增加。 電子廠潔凈室和潔凈室周圍所有暴露在空氣中的表面都會很快被至少一層單分子水覆蓋。 當這些表面由可與水反應的薄金屬涂層組成時,高濕度會加速反應。
恒溫恒濕空調機組一般將制冷系統的蒸發器(翅片管式)安裝在被處理空氣的通道內,利用制冷劑的直接蒸發來冷卻空氣。 當空氣流過蒸發器的外表面時,空氣被冷卻并且水分含量減少。 為了保證被調節房間所需的相對濕度,空調內設有加濕器。 加濕器是一個裝滿水的小容器,內部有電極加熱器,使水被加熱汽化成水蒸氣,以增加處理后空氣的含水量。 另外,空調中還安裝有電加熱器,可以對空氣進行干熱,以改變空氣的溫度,或者在冬季提供熱量。 恒溫恒濕空調機組的適用范圍是:溫度為20-25±1℃,相對濕度為(50-70)±10%,其制冷量各不相同,一般在7-116kW左右,風量為1000-17000m3/h,均為自動控制。